随5G、物联网及高性能计算等新兴科技应用快速拓展，半导体市场持续旺盛，为应对此波需求，半导体大厂积极扩展产能，加上政府积极推动半导体设备及零部件产业升级，以及企业构建当地采购供应链吸引国际大厂在台投资建厂，带动台湾半导体设备产值自2012年起已连续8八年正增长，经济部统计处指出，2020年1~11月台湾半导体设备产值已来到594亿元，年增9.5%，预期全年度产值可达650亿元以上，续创佳绩。
经济部统计处指出，国产半导体设备包含生产、检测两大类，其中以生产设备及零件占大宗，主要供应市场为主，内销比重约占七成，近年生产设备厂商积极投入研发制造，持续接获大厂订单，产值自2012年起连续8年二位数增长，占整体产值比重也逐年攀升，2019年已达75%，为台湾半导体设备产值连年增长的主要贡献来源，2020年1~11月产值续增15%。另外，检测设备及零件内外销市场比重约占各半，随半导体厂扩建产能需求火爆，2020年1~11月内销产值增长11%，内销比重突破六成。
以半导体设备出口来看，依据海关进出口统计，2020年我国半导体设备出口值（不含复出口）为15亿美元，年增29%；其中，以中国为最大外销市场，占44%，出口金额约7亿美元，年增3.7%；其次依次为新加坡占18%、美国占14.4%及马来西亚占6.9%，出口金额分别年增89.5%、53.9%及67.3%，三者合计对出口增长贡献达21.1个百分点，为2020年出口增长的主要贡献来源。
据国际半导体产业协会（SEMI）统计，2020年全球半导体制造设备销售金额将创下689亿美元的新记录，其中，台湾为全球第二大的设备需求市场。
依据海关统计，除了2019年因进口高单价的芯片微影设备，荷兰跃升为最大进口海外，日本及美国一向为台湾主要半导体设备进口来源，2020年台湾半导体设备进口值（不含复进口）为230亿美元、年减1.1%，其中，自日本进口55亿美元占23.7%居首，自美国进口占22.2%居次，自荷兰进口占21.7%居第三。
统计处表示，台湾拥有全球最完整的半导体产业聚落及专业分工，惟主要生产设备及材料多须依赖海外，为提高半导体供应链自给率，政府积极推动台湾成为“半导体先进制程中心”，期吸引更多国际设备及材料大厂来台投资，同时厚植企业研发及技术量能，落实供应链的自主化与国产化，借以提高台湾产业的国际竞争力。