Nikon计划推出支持3D半导体曝光机,目标2026年销量翻倍

根据日本经济新闻报道,日本光学大厂Nikon计划在2025财年(截至2026年3月)将把半导体曝光机主力机型的年销量,提升至2019~2021财年(截至2022年3月)这三年平均销量的2倍以上。预计,Nikon将以2023年上市、用以支持3D半导体制造的新产品为发展核心。

一直以来曝光机都是半导体制造的关键设备,但是,在半导体曝光机市场其中,荷兰商艾司摩尔 (ASML) 当前一家独大,拿下了大部分的市场占比。根据统计数据显示,2020年全球半导体曝光机总销量约413台,销售金额约130亿美元。其中,用于芯片制造的曝光机基本都是ASML、Nikon,以及另一家日本厂商Canon等三家公司的产品。

以这样的统计数据来分析,从以销量来观察,ASML销量为258台占比达62%,其中EUV曝光机出货量就达到达到31台。就销售金额来说,ASML的占比高达将近90%。至于,Canon的销量为122台,市场占比30%。Nikon销量则为33台,占比8%。可以说,Nikon已经是越来越边缘化。

因此,为了提升市场占比,Nikon计划在2023年推出光源使用化合物“氟化氩(ArF)”、并且支持3DIC的ArF浸润式曝光机的新产品,可以适应3D堆栈结构器件生产,例如3D NAND Flash闪存、图像传感器等。Nikon也希望将到2025年之际,将ArF曝光机销量达到目前的两倍。目前,该公司平均每年售出含二手翻新的16台ArF曝光机。

(首图来源:Nikon)