3纳米制程是台积电下个阶段的重要制程技术，目前3纳米厂房已经落脚南科，但是3纳米研发中心的环评初审卡关，最后终于在11日通过初审，台积电3纳米研发中心预计在年底动工，而2纳米也会根留台湾。
台积电3纳米研发中心通过环评，计划年底动工
台积电厂务处处长庄子寿表示，目前3纳米厂房已确定落脚南科，但3纳米研发中心目前进度落后；如今通过环评，计划今年底动工，以维持台积电的国际竞争力。
目前新竹科学园区的厂房饱和，因此台积电想扩建宝山用地，但由于多数地区是山坡地，环评一度卡关，造成3纳米研发中心进度落后。
台积电计划将两纳米制程技术留在竹科，但进度未定
台积电的主力研发部门在竹科，庄子寿表示，投资设厂就近研发中心仍是最理想的选择，未来想将研发部门留在竹科，并继续征收竹科的宝山土地。庄子寿也透露，未来2纳米技术也计划留在新竹，以直接衔接研发能量。
台积电前董事长张忠谋去年曾说，2纳米制程可能在2025年前问世；而目前台积电表示，3纳米厂预计2022年开始量产，但2纳米的进度仍未定。
从7纳米，5纳米到3纳米，台积电不断挑战物理极限，让摩尔定律得以持续。但随着晶体管缩小，芯片的设计与制造成本也随之飙高，3纳米以下制程的商业效益还有待讨论。