根据台湾机械工业同业公会统计，2019年前11月台湾的半导体设备进口值达199.1亿美元，年增率41.6%，占同一期间台湾全部机械进口的67%，显示，台湾半导体产业的资本支出很庞大。
若以台湾半导体设备的主要进口国来看，排名第1是日本，进口值51.6亿美元，年增率27%，占比25.9%；排名第2是荷兰，进口值48亿美元，年增率130.5%，占比24.1%；排名第3是美国，进口值43.8亿美元，年增率28.7%，占比22%；排名第4是新加坡，进口值19亿美元，占比9.6%；排名第5是德国，进口值6.7亿美元，占比3.4%。
值得留意的是，新加坡的半导体产业发展虽然远不如台湾，而且该国的特许半导体生产规模与台积电相比仍有一段差距，但是新加坡竟然是台湾半导体设备进口的主要来源国之一，显示台湾的半导体设备厂还有很大进步空间，至于如何落实半导体设备的国产化，或许是政府和厂商可以共同思考的问题。