日本对销往韩国的三种半导体原料,实施出口管制将近一年以来,韩国终于成功开发出本土产品。SK Materials宣布,已经开始量产蚀刻气体(etching gas),减少对日本关键原料的依赖。

韩联社、Aju Business Daily 17日报道,SK集团旗下的SK Materials,去年在韩国荣州市(Yeongju)兴建年产量15吨的蚀刻气体工厂,17日宣布开始量产高纯度蚀刻气体──氟化氢(hydrogen fluoride),这是生产芯片的重要原料,可以洗掉制程时芯片片上堆积的异物。
SK Materials可能会供货内存大厂SK海力士,不过SK Materials不愿评论。2019年7月,日本加强对三项原料的出口管制,分别是氟聚酰亚胺、光阻剂、蚀刻气体(高纯度氟化氢),都是生产半导体和可挠式面板的关键原料。不只如此,日本还把韩国踢出贸易优惠待遇国的名单之外。日韩交恶,韩国企业全力启动相关原料本土化生产。
蚀刻气体之外,SK Materials还打算兴建氟化氩光阻剂(ArF photoresist)工厂,预定2021年完工、2022年起每年产量达5万加仑。另外,SKC准备要生产高端光罩基板(mask blanks),也是半导体的重要原料。