台积电(TSMC)在半导体生产上处于全球领先地位,但其背后最重要的合作伙伴ASML(艾司摩尔),其EUV曝光机(光刻机)所带来的优势功不可没。
台积电(TSMC)最近召开了年度技术论坛,透露了该公司的所有先进制程的技术细节,包含N5(5纳米),N4,N3(3纳米)与N12e(改良版12纳米)等等,这些制程将在未来几年内,深刻影响整个科技产业相关发展。
但除了研发能力之外,同步拥有尖端制造技术的台积电,背后有个近年来才获得巨大关注的重要伙伴:ASML(艾司摩尔)。ASML的EUV极紫外光微影技术曝光机,帮助台积电在制程上得到领先,甚至左踢三星、右踢Intel、双拳猛打马赛克罗方德。
根据海外媒体AnandTech报道,台积电目前拥有ASML总量一半的EUV曝光机,并完成整个半导体产业,累计总共60%的EUV芯片产量。
以先前ASML的季度财报来看,目前该公司总共生产了约70台左右的EUV曝光机,等于至少有35台交付给了台积电使用,而且已经安装上线。格芯先前购买了两台曝光机,后来因放弃7纳米制程而出售;中国中芯国际先前也下单了一台,不过后来由于美中贸易战因素,至今仍无法安装。
ASML是全世界唯一生产和销售EUV曝光机设备的公司,预计在2020年底达到EUV曝光机总出货量90台的目标,但已经收下的订单却高达49张,每一季的生产目标跟先前预测也有所落差,显然曝光机的制造速度,仍远远慢于市场需求。
与过去的DUV(深紫外光微影)曝光机相比,EUV曝光机的吞吐量相对较低,每小时可曝光约120片~175片芯片,目前技术改良后则提升到275片,但是,由于1层EUV芯片通常可以代替3到4层DUV芯片,所以生产效率反而更高。对于半导体代工厂来说,拥有更多EUV曝光机,就等于增加更多芯片数量,产能也可以相应得到提升。
台积电N7P(改良型7纳米)是该公司利用EUV极紫外光微影完成的第一个技术节点,未来N5、N3等先进制程,将会更依赖ASML的EUV曝光机。而除了台积电之外,三星的7LPP跟未来制程,也会对EUV设备产生更大需求,更别提未来将进步到7纳米制程的Intel。
未来台积电、三星与Intel,会如何跟ASML争抢EUV曝光机订单,或许将左右着先进科技的关键发展。
来源:AnandTech